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出版AOI
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晶圆检测机
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产品规格：
产品兼容范围
项目
规格
长度(L)
200～520mm
宽度(W)
50~200mm
设备检测参数要求：
顶盖焊缺陷检测机技术要求
适应主设备运行速度
≥8PPM
功能需求
a) 具备历史数据存储、查询、报警日志与对应图片快速调取功能
b) 具备数据检测、记录和分析处理功能
c) 具备设备保养提示功能
d) 具备一键调取工艺配方功能
e) 具备与 MES 数据交互功能
产品尺寸
兼容尺寸：
宽*高=402mm*102mm
宽*高=442mm*138mm
宽*高=306mm*136mm
宽*高=412mm*144mm
设备检测内容：
序号
检测项
不良标准
1
边框最小能识别杂质
0.5mm、气泡0.5mm、折痕和压印2mm、破损0.5mm；
2
碳纸
裂纹1mm、破损尺寸1mm、颜色异常、碳纸沾胶沾碳粉沾异物
3
质子膜
褶皱1mm
4
包装纸能覆盖整个膜电极
5
中空板能覆盖整个包装纸
6
外形尺寸、定位孔和气孔尺寸、碳纸对位、碳纸错位
精度±0.01mm，长宽尺寸±0.05mm
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